真空泵-利忠五金-水环式真空泵

一直以来，真空泵的使用成本是影响人们选择真空泵的重要因素。真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低，影响到晶圆的生产和交货期，甚至造成所加工晶圆的报废和机器其他部件的损坏。由于真空泵设计为单级设计，同多级真空泵如圆裂片式、爪式以及组合式相比，其在零件的使用数量上减少了百分之六十。这使得其在稳定性和将来的维修成本上有很大的优势。

真空泵和电动机的安装

真空泵和压缩机在安装前，用手转动联轴器，保证真空泵内没有卡住和其它损坏现象。整套设备运抵安装地点时，若包装已损坏或受潮，水环式真空泵，以及真空泵已经出厂八个月以上时，旋片式真空泵，应在安装真空泵前全部拆开检查。若真空泵或压缩机正常，将真空泵和电动机安装在泵座上时，应校正电动机轴与泵轴的同心度，因为真空电动机轴与泵轴之间有***的倾斜也会引起轴承发热和零件的严重磨损。校正方法如下：将直尺平行放在联轴器上，在整个圆周的任何位置直尺应与联轴器圆周完全密合，没有间隙，并且联轴器的轴向间隙相等时，则达到了所要求的同心度。

电动机与泵轴，即使有***的倾斜，也会引起轴承发热和零件过早磨损等严重后果，若安装正确，用后即能轻松地转动泵轴。在真空泵的进气口应安装过滤装置，以防***进入泵腔内。

对泵的修理，可考虑从减小它的间隙公差着手。一首先，设法改变它的偏心值:把中间轴套换一偏心套，使上切点间隙减小到0 02 mm;将高真空

室泵腔研磨去Q 03 mm，低真空室泵腔研磨去0 04 mm.清洗后倒放在平台上组装(不打***销)，边组装边用手盘动泵轮，并以对角均匀原则拧紧紧固螺钉。根据经验，真空泵，如果转子外表是正圆形，则转动泵轮时，不管到那一点，均不应有阻滞费力的感觉;但如果装配不正或转子外表为椭圆形，在转动泵轮时，就会发生半周轮重、半周轮轻的感觉。该泵装配间隙减的很小，单旋片真空泵，装配时稍有不慎，就装不正，这样由于摩擦发热等原因，就容易在运转中卡死或研坏。所以要认真、细致地装配。在装完后试抽，其真空度用热偶真空计测达82格，由曲线查得相当于8X103托，麦氏计测达2X 104托以上。运转一段时间后真空度还略有提高。

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