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发布时间:2020-02-02 08:33:27
真空泵故障检测方法
真空度不高
(1)真空泵温度太高,1.被抽气体运转温度太高。应让气体冷却后再进入真空泵内,2.吸入硬物招致真空泵体磨损。应拆开真空泵消l除硬物,对划伤部件停止修复或调换,3.真空泵冷却水流***不敷。应加大冷却水流量,4.装置欠妥,单旋片真空泵,使转子轴心位移,形成单面磨损。应拆开反省并从新装置。
(2)真空泵油有问题,1.油位太低。应加足油量到油标中心线,2.油被沾污,真空泵,油质变坏。应调换新油,3.油的商标不符。应换划定商标的真空泵油,4.油路欠亨,真空泵腔内没有坚持恰当的油量。应反省油路及油阀的进油量,坚持油路通顺。
多级爪式干式真空泵是上世纪末快速发展成熟的新型(变容积)真空泵,由于其如下突出优点:泵腔内无油、对被抽容器没有油污染、并能直排大气、单泵就能达到3 Pa等,在电子行业得到了非常广泛的应用,替代了油封机械泵以及滑阀真空泵。由于其性能***而越来越广泛的应用于航天、核工业、化工、制药、环保等行业,并呈逐年上升的趋势。其主要的结构型式有螺旋型和反爪式,其结构各有优势,相比较而言反爪式比螺旋型优势更明显。但由于其结构限制,旋片真空泵,泵的抽速目前基本上只做到小于600 M 3小,不能够满足化工和制药等大抽速的需要
为防止普通旋片油真空泵对真空系统的返油污染,需要在抽气系统中加冷阱捕获油分子,还要在系统运行中,定期清洗除油,增加了成本运行。因此,无油涡旋真空泵确实具有未来深广的发展前景,旋片式真空泵,是着重商业化的对象。
国内以半导体、电子工业为代表的制造工艺和科学研究与分析测试行业迫切需要无油污染的真空环境,无油真空泵的研发不仅推动了应用产业的整体素质,还为我国其他清洁真空获得设备提供了有效地借鉴,带动了整个真空获得行业的创新能力和技术标准。
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