旋片式真空泵-江门真空泵-利忠五金

一直以来，真空泵的使用成本是影响人们选择真空泵的重要因素。真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低，影响到晶圆的生产和交货期，甚至造成所加工晶圆的报废和机器其他部件的损坏。由于真空泵设计为单级设计，同多级真空泵如圆裂片式、爪式以及组合式相比，其在零件的使用数量上减少了百分之六十。这使得其在稳定性和将来的维修成本上有很大的优势。

装配时泵内一定要保持千燥、清洁。将各机座的汕泵放在***下面，旋片真空泵，然后依次重P.的直立装配。各机座高真空室的旋片应沿螺旋线顺序相距一齿。预真空室转子的旋片应相距两齿，水环式真空泵，两个预真空室的转子端头孔应相对着不要掉头。零部件的互相接触部分应涂以干净的真空泵油以加强润滑

真空泵换油及相关真空泵维修知识概述

真空泵连续使用3-4个月以后，即应换油。在湿度较大的环境下使用，江门真空泵，应酌情缩短换油期。换下的油可经清洁去湿处理后再用。

换油方法如下:将泵从系统上拆下，用干净的方盘接在放油孔下，旋下/注油塞和放油塞，放出污油，断续启动电机卜6次，使各真空小室内的油全部排出。然后从各抽气管加入干净的真空泵油200-300cc，断续启动电动机，再次清洗各真空室。这样，旋片式真空泵，经2~3次重复清洗，放光清洗用All，旋上放Ill塞，从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗孔的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。

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