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防止水蒸气对真空泵的污染

水蒸气在紧缩过程中会凝结成水滴，并与真空泵混合构成悬浮液，不只会使真空度降落，也能使真空泵腔与转子生锈，***密封面，使泵的极限真空度降落。为此，防止水蒸气对真空泵的污染很重要。。

1、选用带有气镇装置的油封机械泵。

2、装油分别器、离心式分别器或油水分别器，将混有水的机械泵油中止处置，处置过的油再流入泵中运用。

3、运用吸水性强的单调剂。

4、运用液氮冷阱，不只能有效地吸附水蒸气，同时还可以阻挠机械泵油向高真空室返流。

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真空泵的负荷会以等比级数增加

冷凝器是真空排气系统中一个很重要的组成部分，它的作用是将混合气体中的可凝性蒸汽部分凝结排除，以减少下一级泵的负荷。一般性而言，单级真空泵的压缩比有一定的限度，所以生产实践中都使用两级以上的真空系统，真空系统采用的是四级泵形式。从前级真空泵中喷出的混合气体中，包括被抽的气体和工作蒸汽，旋片式真空泵，因此后级真空泵的负荷会以等比级数增加，蒸汽耗量也会相应的按比例增加。为了防止蒸汽耗量的增加，当某一级的真空泵的排出压强比此时冷却水的饱和水蒸汽压强高时，单旋片真空泵，排出混合气体与冷凝水接触，其混合气体中蒸汽大部分会被冷凝后排出。这样就能显著地减轻下一级真空泵的负荷，大大减少蒸汽的耗量。冷凝器的结构：冷凝器的结构形式基于冷却机理的不同，冷凝器的结构形式主要分为：混合式冷凝器和表面列管间冷式冷凝器，混合式冷凝器又分为强制喷淋式、分水盘式和隔板式，如由于受到冷凝水温的限制 ，在第三级喷射器之前不宜设置冷凝器，除非用低温水，同时设备费和维护费都比其它两种低。为了达到钢水精炼时工艺对真空度的要求，冷凝器的进水管采用上下两路，有上下两个喷淋头装置，根据真空系统冷凝水全流和减流两种方式进行工作。为了使蒸汽能够充分的与冷凝水接触，在冷凝水管的出口处，装有冷凝水喷淋头装置，该装置用三层伞状不锈钢弧板组成。冷凝器前冷凝器被置于真空排气系统***前列，在蒸汽泵的被抽气体中包含较多的可凝缩性气体，旋片真空泵，而且其温度比气压式冷凝器的冷却水温度还高，为了减轻泵的负荷而采用的一种冷凝器。所以被抽气体几乎是不凝缩性气体或者其温度比冷却水温度还低时，就不用前冷凝器。

一直以来，真空泵的使用成本是影响人们选择真空泵的重要因素。真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低，影响到晶圆的生产和交货期，甚至造成所加工晶圆的报废和机器其他部件的损坏。由于真空泵设计为单级设计，同多级真空泵如圆裂片式、爪式以及组合式相比，其在零件的使用数量上减少了百分之六十。这使得其在稳定性和将来的维修成本上有很大的优势。

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